加工工艺
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多线切割机
多线切割技术（MWS: Multi-Wire-Slicen）是进行脆硬材料（如硅锭等）切割的一种创新性工艺。在该工艺中，切割线被缠绕在一个导向轴上，可以同时进行几百个切割，获得几百个切片。 MWS工艺可进一步分为两个过程分支，一方面是传统的、已被广泛使用的切割抛光工艺，另一个是新的切割磨削工艺。在切割抛光工艺中使用的是没有涂层的切割线，在切割过程中，切割线涂上抛光液。切割磨削工艺使用的是附有金刚砂涂层的切割线以切削的方式进行，可获得理想的分割效果，大大提高生产效率。 多线切割技术可被用于切割脆硬材料，如硅锭等，此外也可用于分割难切削的材料。该工艺具有以下的优点： （1）经济效益高，一次可切割几百个晶片 （2）可切割直径至300mm的硅锭 （3）晶体缺陷深度小 （4）几何缺陷少（TTV，弓曲，偏差等） （5）适合于分割硬脆或难以切削的材料 |
